傳感器和成像儀校準(zhǔn)

標(biāo)定CMOS，通常將待測(cè)物放于積分球的出口，并且需要屏蔽積分球內(nèi)燈的直接照射。積分球開(kāi)口端光源是通過(guò)多次漫反射間接提供的，從而使其有效區(qū)暴露在一個(gè)均勻輻照度下。

積分球出口處的照度是經(jīng)校準(zhǔn)的，在測(cè)試過(guò)程中，連接在積分球上的監(jiān)測(cè)探測(cè)器通過(guò)輻射計(jì)給出照度讀數(shù)。評(píng)估設(shè)備對(duì)已知均勻照度的響應(yīng)，以驗(yàn)證是否符合規(guī)范，或識(shí)別和糾正工藝問(wèn)題。

在這種方法中可以使用不同類型的光源。積分球可以用調(diào)節(jié)的白熾燈照明，或者光源可以設(shè)計(jì)成模擬特定的光譜分布，例如平均日光。積分球也可與單色儀耦合，用于光譜表征。

Labsphere的均勻光源積分球和積分球均勻光源系統(tǒng)可測(cè)試用于光伏或光導(dǎo)應(yīng)用的半導(dǎo)體晶圓和器件的響應(yīng)性和/或量子效率。